盛美上海:获两份型号为Ultra C SAPS V的12腔单片清洗设备订单

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  • 发布日期:2021-12-02 16:17
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记者获悉,12月2日,盛美上海宣布从美国一家主要国际半导体制造商处获得两份型号为Ultra C SAPS V的12腔单片清洗设备订单。所涉两台设备预计均将安装于该客户的美国工厂中,用于其先进制程。第一份订单是一台评估设备,用于进一步验证设备的清洗性能,并最终确定设备的具体配置,计划于2022年第一季度交付。第二份订单是一台量产设备,供其量产线使用,计划于2022年第二季度交付。

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